測量原則
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探針法
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輸入
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BFW 無導塊系統
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測量范圍 mm
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+/- 250 µm(高達 +/- 750 µm,3x 測桿長度)
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輪廓分辨率
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測量范圍 +/- 250 µm:8 nm
測量范圍 +/- 25 µm:0.8 nm |
過濾器符合 ISO/JIS 標準
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ISO 11562 標準高斯濾波
ISO 13565 標準濾波 |
采樣長度數量符合 ISO/JIS
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1-5
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接觸速度
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0,2 mm/s; 1,0 mm/s
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測量力 (N)
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0.75 mN
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重量驅動單元
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約 0.9 kg
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重量測量儀
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約 1.0 kg
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表面參數
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超過 50 種符合當前 ISO / JIS 或 MOTIF (ISO 12085) 標準的表面參數可用于 R-、P- 和 W
輪廓 |