現代精密測量技術是一門集光學、電子、傳感器、圖像、制造及計算機技術為一體的綜合性交叉學科，涉及廣泛的學科領域，它的發展需要眾多相關學科的支持。

在現代工業制造技術和科學研究中，測量儀器具有精密化、集成化、智慧化的發展趨勢。

下面就給大家介紹3款典型精密測量儀器，讓大家對現代工業制造中的精密測量技術有所了解。

1.三坐標測量機

三坐標測量機（CMM）是適應現代工業制造中的精密測量技術發展趨勢的典型代表，它幾乎可以對生產中的所有三維復雜零件尺寸、形狀和相互位置進行高準確度測量。發展高速坐標測量機是現代工業生產的要求。

2.激光干涉儀

激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現最高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件從而實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在數控機床、線性模組、直線電機、電動滑臺、自動化設備、三坐標機等有著廣泛應用。

3.光學3D表面輪廓儀

光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

光學3D表面輪廓儀廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。